典型MEMS器件结构优化设计平台

善盈盈; $2

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期刊信息

中国标准连：ISSN1005-2895
续出版物号： CN 33-1180/TH
主管单位：轻工业杭州机电设计研究院有限公司
主办单位：轻工业杭州机电设计研究院有限公司、中国轻工机械协会、中国轻工业机械总公司
社　　长：刘安江
主　　编：黄丽珍
地　　址：杭州市余杭区高教路970号西溪联合科技广场4-711
电子邮件：qgjxzz@126.com

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善盈盈,$2.典型MEMS器件结构优化设计平台[J].轻工机械,2012,30(3):

典型MEMS器件结构优化设计平台

MEMS Platform for Structural Design and Optimization of MEMS Facilities

DOI：

中文关键词: MEMS器件柔性模块设计平台结构优化

英文关键词:MEMS device flexible module platform structural optimizations

基金项目:

善盈盈 $2

1.浙江机电职业技术学院机械工程系，浙江杭州 310053；2.浙江省机械工业情报研究所，浙江杭州 310014

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中文摘要:

设计一种适用于典型MEMS器件结构优化设计的通用平台系统MEMS Platform（简称 MP）。该平台采用了柔性模块的设计理念，将整个优化设计过程分解成参数化建模、性能仿真、优化前后处理、优化算法选择与设计、优化结果输出等5个独立功能单元，解决了典型MEMS器件结构设计中经常出现的实际性能失真、优化计算过程复杂、计算量大等问题，具有较好的实际应用及再开发价值。

英文摘要:

The paper presented a kind of general platform system suitable for typical MEMS device structure optimum design MEMS platform (MP for shot). This platform adopted design conception of flexible module and decomposed whole optimum design into five independent functional units parametrization module, function simulation, optimal pre after treatment, optimal algorithm option and design, outlet of optimal results etc., thus solved the common problems occurred in typical MEMS device structure design, such as real function distortion, too complicated in optimal calculation, mass calculations etc.. The MP posses with better practical application and redevelopment value.

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